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高低温真空探针台

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高低温真空探针台

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产品描述
高低温真空探针台，温度范围可选（4K-480K），适用于真空高低温环境下样品测试。


PS：探针台属于非标产品，均可根据客户需求进行定制。


4K-480K
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极低温测试:

因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。

高温无氧化测试：

当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。 

晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。



整体规格：                                                 

载物Chuck 温度范围：4.2K-480K        

外置4个定位针臂

探针X-Y-Z三方向移动，行程：25mm，定位精度：10微米

最多可以外置6个定位针臂

载物chuck 最大可到2寸

双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度

针臂定位精度可以升级为0.7微米

极限真空到10-8 torr

可以选择射频配件做最高67 GHz的射频测试

可以选择防震桌

可以选择超高真空腔体

客户订制

温控规格:                                                     

控温范围

4K-480K

控温精度

0.1K

温度稳定性

4     K        + - 0.2 K


77     K     + - 0.1 K


373 K    +     - 0.08 K


473     K       + - 0.1 K


823 K           + - 0.2 K(可选)


973 K    +     - 1.0K(可选)

常温到8K冷却时间:

1小时40分钟

8K到常温升温时间:

1小时30分钟

 从常温开始的升温时间          

200 ℃     550℃     700 ℃

 (4 chuck，单位分：秒)

1:00         1:30         2:00

电源

直流

材质

不锈钢

功率(4chuck) 

850W

 

机械规格：                                                     

 针座行程

 X轴方向

25.4mm(1 inch)


可以选择50.8mm 

 Y轴方向

25.4mm(1 inch)


可以选择50.8mm 

 Z轴方向

25.4mm(1 inch)


可以选择50.8mm 

移动精度


 X轴方向

10 micron


可以选择0.35,0.7,5,10       or 20 micron

 Y轴方向

10 micron


可以选择0.35,0.7,5,10       or 20 micron

 Z轴方向

10 micron


可以选择0.35,0.7,5,10       or 20 micron

 探针可旋转角度

+-5 度



光学部件规格：                                                 

显微镜X-Y轴方向行程

2"*2"


可以选择4"*4"

总共放大倍率

240X


可以选择更高倍率

真空腔观察窗口

2 inch


外部石英材质99%红外线穿过率


内部吸收红外线仅可见光通过

光源

150W可连续调节

双光纤导引

可选附件                                                                                                                        

防震桌

方形chuck

分子泵组

射频部件

Chuck可外部移动装置

客户定制。



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