探针台本体

整机尺寸 （mm）

450L*450W*520H

500L*500W*520H

550L*550W*520H

重量

30kg

35kg

50kg

自适应减震系统

具备自适应减震系统 ， 一定程度上可防止外界震动的干扰

卡盘大小

4 英寸，360 度转动，可微调

6 英寸 ，360 度转动 ，可微调

8 英寸，360 度转动，可微调

卡盘行程和精度

4 英寸*4 英寸，精度 10um

6 英寸*6 英寸 ，精度 10um

8 英寸*8 英寸 ，精度 10um

卡盘材质

镀金，具备更小的接触电阻

卡盘吸附方式

真空吸附 ， 可选择环形吸附或者多孔吸附 （适用于薄片）

背电极测试功能

卡盘镀金，电学独立悬空，带4mm 香蕉头插口，具备背电极功能

针座平台

材质

U 型平台 ，镀镍 ，与探针座之间具备更强吸附力，带接地端子

大小

最多可放置4个探针座

最多可放置6个探针座

最多可放置8个探针座

显示系统

显微镜类型

体式显微镜/视频显微镜（注意视场）+CCD成像系统

倍率范围

16X~200X/60X~420X

调焦范围

50.8mm

显微镜移动

显微镜可绕立柱360度旋转，带2英寸高精度显微镜调焦机构，带显示器支架

CCD 成像系统

200 万/500万像素，帧率 60fps，带拍照/录像/测量功能等功能

探针座

种类

DR/L-200m/V和DR/L-100m/V 和 DR/L-40m

X-Y-Z 行程

12mm-12mm-12mm

机械精度

0.5um/0.7um/2um

夹具

漏电精度

10pA/100fA/10fA

接口形式

香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口/SMA/裸线等

其它

选件

屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/显微镜万向支架等

电力需求

220V/50HZ