IT-800标准版二维材料转移台

功能描述

实现高质量二维材料异质结制作，界面无胶转移技术实现不同二维材料薄层堆叠；目前二维材料异质结的广泛研究，通过CVD生长或者机械剥离获得的二维材料尺寸非常微小，造成材料高精度对准转移成为实验技术难点；艾维特电子科技与中科院联合开发的多维度、高精度二维材料异质结转移装置，可以实现高于1微米精度的二维材料转移方法，能够方便快捷实现高质量异质结制作，解决材料转移的难题，方法步骤为：1、将获得的二维材料（通过CVD生长或者机械剥离）转移到柔性衬底PDMS或PVA；2、通过高精度对准装置将柔性衬底上的二维材料转移到目标二维材料，然后将异质结从衬底上剥下。3、将带异质结材料的柔性衬底转移到目标衬底，也可以多次重复过程2获得多层异质结。

产品介绍
IT-800型二维转移平台适用于石墨烯、各类过渡金属化合物、黑磷等多种单层及其多层二维材料的精确定位转移及范德瓦尔斯异质结的准确制备，实现了低维材料转移的精确可视化操作。本套转移平台由转移台模块、样品台模块、显微观测模块结构、温控模块等组成。该平台是研究低维材料性质、范德瓦尔斯异质结构中低温物理特性、低维材料中表面界面物理性质的有力工具。

产品特点
转移台模块:包含XYZ三维移动台+旋转台+俯仰台；XY向：行程25 mm，精度5μm；Z向：行程±5 mm；旋转台：粗调360°，细调5°，精度1°；俯仰台：范围±20°，最小读数5′
样品台模块:XYZ三维移动台+旋转台+带真空吸附的加热台；转移台：精度低至10 μm；旋转台：可360°旋转，精度1°；加热台：室温 ~ 200 ℃
显微观测模块:金相显微镜：配置5X 、10X、20X超长焦物镜；配置CMOS成像系统及相应软件，支持配置10X目镜；配置滤波片，支持调光；配备粗微调焦装置，微调精度2 μm
温控模块:高精度PID程序控温，温度可达200 ℃，精度0.1 ℃，升温速率2 ℃/s （at 150 ℃）
技术说明
典型应用：基于低维材料及其异质结的晶体管、光电探测器、光伏器件等微纳电子与光电子器件
台体设计：采用进口精密机械台体，结构紧凑，支持放置于手套箱中
防震设计：底座配备蜂窝内核三层夹心防震光学平台及隔振阻尼垫
结构设计：转移台及样品台支持面内旋转，方便样品进行对准转移
真空吸附：低噪泵体流量 30 L/min，保证样品吸附
选配功能：样品台可集成Z轴电动控制模块，支持集成无线控制，手套箱外用按键调控样品台升降

应用案例：

部件描述：

转移设备由：显微系统、高精度对准系统装置、样品台、温控系统系统等部分构成；

一、             显微成像系统：

Ÿ   显微镜、HDMI相机、显示器及物镜构成实时观察样品的位置

二、             高精度对准系统：

Ÿ   组合式位移台实现五轴调节，通过X\Y\Z及倾斜角度调节转接载玻片位置

Ÿ   位移台行程：25mm，分辨率：5 μm；

三、             样品台：

Ÿ   样品台固定在XY轴带旋转手动位移台上，方便样品位置调节，样品通过真空吸附的方式固定在样品台上；

Ÿ   XY样品台行程：13mm，分辨率：5 μm；

Ÿ   旋转位移台，粗调：360°，微调：±5°

四、             温控加热系统：

Ÿ   温度控制器、加热器、温度传感器构成，温度传感器及加热器固定在样品台装置的样品座上，用于监视和控制样品温度；

Ÿ   温度范围：室温-200℃；

五、             真空吸附系统（选配）：

Ÿ   真空泵连接至样品台装置样品座上，实现对样品的真空吸附；