特点

类型

规格

* 适用于6英寸以内的各种半导体器件的高精度测试
*同轴驱动CHUCK
*可以升级做射频测试
*20X~2000X 光学显微放大
*无后座力移动
*可以选择显微镜倾仰装置或者气动升降装置

显微镜控制

在探针台本体的功能设计上增加了显微镜的气动升降或者显微镜倾仰装置，使在测试过程中更换物镜和样品更为方便，避免了会有碰伤样品和镜头的问题

显微镜X-Y轴行程：2" x2"

显微镜放大倍率：20X~2000X （倍率可选）

chuck（卡盘）

尺寸：6英寸，圆形（方形可选）

材质：不锈钢（可升级镀金）

旋转角度：0-360°可带角度锁定，精度0.1°

X-Y移动行程：6" x6"，移动精度：5um（可升级为1um精度）

Z轴升降行程：5mm，卡盘快速升降，方便更换样品，不会碰触到其他已调试好器件

吸附孔：中心孔径最小可做到250微米，最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，最大能够吸住尺寸为6"X6"

整体规格

尺寸：850mm长 x 680mm宽 x 720mm高 (带显微镜)

重量： 100 Kg(带显微镜)

U型大平台，可放置8个探针座

平整度：5um，使针座吸附更牢固（可定制针座固定在平面上）

附件可选：

激光切割、探针卡夹具、高低温样品台、防震桌、CCD视频系统、屏蔽箱、显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测