晶圆测试探针台
晶圆测试探针台
晶圆测试探针台拥有4-6个转塔的金相显微镜，可安装4个金相物镜。其放大倍数，根据所选物镜的倍数，通常由20～2000X不等。该系统常用于极小微尺寸的待测点的测试或激光应用中。
晶圆测试探针台配置了兼顾刚性和精度的基座，可进行X-Y-Z三方向的精密定位。简单直接的操作方法，可让用户列加专注于测试测量应用于中去，而不是探针台的操作。
晶圆测试探针台配置了兼顾刚性和精度的基座，可进行X-Y-Z三方向的精密定位。简单直接的操作方法，可让用户列加专注于测试测量应用于中去，而不是探针台的操作。
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| 晶圆测试探针台 | |||||
| 型号 | LJE-4 | LJE-6 | LJE-8 | LJE-12 | |
| 外形 | 580mm长* 620mm宽* 730mm高 | 640mm长* 700mm宽* 730mm高 | 660mm长* 660mm宽* 700mm高 | 1030mm长 *820mm宽* 730mm高 | |
| 重量 | 约70KG | 约80KG | 约85KG | 约180KG | |
| 电力需求 | 220VC,50~60Hz | ||||
| 样品台 | 尺寸 | 4英寸，可360度旋转 | 6英寸，可360度旋转 | 8英寸，可360度旋转 | 12英寸，可360度旋转 |
| X-Y行程 | 4英寸*4英寸 | 6英寸*6英寸 | 8英寸*8英寸 | 12英寸*12英寸 | |
| Z轴行程 | 6mm（快速切换）/6mm（微调） | ||||
| 移动精度 | 10um/1um | ||||
| 样品固定方式 | 真空吸附 | ||||
| 背电极测试功能 | 有，样品台电学独立悬空 | ||||
| 针座平台 | U型平台，最多可放置6个针座 | U型平台，最多可放置8个针座 | U型平台，最多可放置10个针座 | U型平台，最多可放置12个针座 | |
| 光学特性 | 显微镜行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm | |||
| 显微镜移动精度 | 1um | ||||
| 切换镜头方式 | 显微镜快速倾仰30度 | ||||
| 放大倍数 | 16~100X/20~4000X | ||||
| 镜头规格 | 目镜：10X；物镜：5X,10X,20X,50X,100X（选配） | ||||
| CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | ||||
| 点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | |||
| 机械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | ||||
| 漏电精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱时） | ||||
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口 | ||||
| 应用方向 | 芯片及LD/LED/PD测试，PCB/封装器件测试，射频测试等。 | ||||
| 可选附件 | 显微镜倾仰装置（倾仰30度） | 高低温样品台 | 光强/波长测试选件 | ||
| 显微镜气动升降装置 | 屏蔽箱 | 射频测试附件 | |||
| 激光微加工 | 转接头 | 有源探头 | |||
| 探针卡夹具 | 防震台 | 低电流/电容测试 | |||
| 显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件 | 镀金卡盘 | 兼容积分球测试选件 | |||
| 液晶漏电分析套装 | 同轴叁轴卡盘 | 光纤夹具耦合测试选件 | |||
| 高压/大电流测试套件 | 样品台快速升降，微调升降装置选件 | PCB/封装夹具测试选件 | |||
| 加热台 | 样品台旋转微调选件 | 特殊定制 | |||
| 特点 | 1.显微镜龙门柱式设计，可使显微镜在平面内移动。 | ||||
| 2.显微镜可倾仰或气动升降，便于更换物镜。 | |||||
| 3.可升级做射频，大电流方面的测试和激光修复应用。 | |||||
| 4.同轴驱动卡盘，移动精度高。 | |||||
| 特点 | |||||
| 紧凑的结构 | 同轴丝杠传动结构，线性移动 | ||||
| 实惠的价格 | 无回程差设计 | ||||
| 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动 | 1微米以上电极/PAD测试 | ||||
| 高等院校/研究所/公司实验室使用 | LD/LED/PD的光强/波长测试 | ||||
| 最大可用于12英寸以内样品测试 | 材料/器件的IV/CV特性测试 | ||||
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