高低温分析探针台 |
规格 | LJ-6 | LJ-8 | LJ-12 |
外形 | 860mm长*850mm宽*700mm高 | 880mm长*860mm宽*750mm高 | 1400mm长*920mm宽*920mm高 |
重量 | 150公斤 | 约170公斤 | 约250公斤 |
电力需求 | 220VC,50~60Hz |
样品台 | 尺寸 | 6英寸,可360度旋转 | 8英寸,可360度旋转 | 12英寸,可360度旋转 |
行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12英寸*12英寸 |
移动精度 | 1um |
切换样品功能 | 样品台快速拉出 |
样品固定方式 | 真空吸附 |
电学运用 | 电学独立悬空,可作为背电极使用 |
针座平台 | 规格 | O型平台,最多可放置8个针座 | O型平台,最多可放置10个针座 | O型平台,最多可放置12个针座 |
行程&调节方式 | 平台可以快速升降,行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调,行程25mm,升降精度1um |
温控特性 | 温度范围 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ |
温控精度 | 温度分辨率 : 0.01°C |
加热电源 | LVDC 低压直流 |
最低控温速率 | ±0.1°C /小时 |
制冷方式 | 液氮制冷 |
光学特性 | 显微镜行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm |
切换镜头方式 | 显微镜气动升降 注1 |
放大倍数 | 16~100X/20~4000X |
镜头规格 | 目镜:10X;物镜:5X,10X,20X,50X,100X(选配) |
CCD像素 | 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字) |
点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm |
机械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 |
漏电精度 | 10pA/100fA(配置屏蔽箱时) |
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA/K接口 |
应用方向 | 高低温环境下,LD/LED/PD测试,PCB/封装器件测试,射频测试等。 |
可选附件 | 探针卡夹具 | 防震台 | 低电流/电容测试 |
显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件 | 镀金卡盘 | 光纤夹具耦合测试选件 |
同轴叁轴卡盘 | 封装器件夹具 |
射频测试附件 | 光强/光谱/波长测试选件 | PCB/封装夹具测试选件 |
高压/大电流测试套装 | 有源探头 | 特殊定制 |
屏蔽箱 | 转接头 |
|
|
特点 |
非真空环境下的低温测试,可达-100℃ | 大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计 |
兼容高倍率金相显微镜,可微调移动 | 0.2微米以上芯片内部线路/电极/PAD测试 |
高等院校/研究所/公司实验室使用 | LD/LED/PD的光强/波长测试 |
最大可用于12英寸以内样品测试 | 材料/器件的IV/CV特性测试 |
同轴丝杠传动结构,线性移动 | 器件的高频特性(支持最高至300GHz频率) |