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加热台
加热台
低噪声，低压直流电驱动
隔离套装实现PA级电信测试精度
双路水循环，隔绝水循环保护chuck底座
可以在绝大多数探针台上加装
隔离套装实现PA级电信测试精度
双路水循环，隔绝水循环保护chuck底座
可以在绝大多数探针台上加装
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| 样品变温台 | |
| 规格 | |
| 真空吸附载物台的尺寸 | 4, 6, 8,12英寸直径，1英寸厚度 |
| Chuck 平整度 | ±10 微米 |
| 控温范围 | 常温到300摄氏度 |
| 控温精度 | 0.1℃ |
| 温度稳定度 | ±0.1℃ |
| 从25 ℃开始升温时间 | 100 ℃ 150 ℃ 200 ℃ 300 ℃ |
| (4 英寸chuck，单位为分钟：秒 ) | 1:00 2:30 3:00 4:30 |
| 电源 | 直流 |
| 材质 | 不锈钢 |
| 需求 | |
| 供电 | 220 VAC, 60Hz |
| 电力消耗 | 4英寸chuck 700W |
| 6英寸chuck 1000W | |
| 8英寸chuck 1500 W | |
| 真空 | -250 mmHg, 7 liter/min |
| 循环水 | 20 Liter/Min |
| 尺寸 | |
| 控制器 350mm长 x 300mm宽 x 150mm高 | |
| 重20 Kg | |
| 特点 | |
| 低噪声，低压直流电驱动 | |
| 隔离套装实现PA级电信测试精度 | |
| 双路水循环，隔绝水循环保护chuck底座 | |
| 可以在绝大多数探针台上加装 | |
| 易于装卸 | |
| 附件 | |
| 高温配件，可以升温至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃ | |
| 低温配件，可以冷却至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低温至-196 ℃ | |
| 用于其他品牌探针台的安装转接口 | |
| 方形chuck | |
| 更高温度控制精度 | |
| 更高温度均匀性 | |
| 更快速的升温配件 | |
| 水冷箱 | |
| 更低电流测试用的同轴/三轴卡盘 | |
| 匹配真空腔体配件 | |
| 匹配屏蔽腔体配件 | |
| 多孔吸附方式 | |
| 镀金的chuck | |
| 镀镍的chuck | |
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